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SEM掃描電鏡測樣時有那些注意事項

日期:2024-12-30 11:47:42 瀏覽次數(shù):160

掃描電鏡測樣時的注意事項涵蓋多個方面,以確保測試的準確性和設備的正常運行。以下是一些關鍵的注意事項:

一、樣品準備與處理

導電性:樣品應具有一定的導電性,以避免電子積累(charging effect)干擾成像。非導電樣品通常需要進行鍍膜處理,使用金、鉑等導電材料沉積一層薄膜。

干燥處理:樣品須干燥,特別是生物樣品或其他含水樣品,以避免在真空環(huán)境中發(fā)生水汽化,影響成像質量和設備性能。

掃描電鏡.jpg

樣品尺寸與固定:樣品應盡量小,不超過電鏡樣品臺尺寸,且具有代表性。樣品應牢固地固定在樣品臺上,以避免在真空環(huán)境中移動。可以使用導電膠或樣品夾來固定樣品。

避免揮發(fā)物與污染物:樣品不應含有揮發(fā)物和污染物,以免造成設備部件污染,降低成像信號產量和探測器檢測效率。

二、設備操作與設置

電子束電壓:根據(jù)樣品的材料和厚度選擇合適的加速電壓(通常在1kV到30kV之間)。較低的電壓適合輕元素和表面敏感的樣品,而較高的電壓適合觀察更深的結構。

工作距離:工作距離會影響成像分辨率和視場深度。較短的工作距離有助于提高分辨率,而較長的工作距離有利于獲取更深的景深。

束流強度:束流強度決定了電子束的電流大小,影響成像的信噪比。較高的束流有助于增強圖像信號,但可能導致樣品損傷,尤其是對敏感樣品。

圖像獲?。河^察樣品表面形態(tài)后,保存高分辨率的圖像以供后續(xù)分析。可以通過調節(jié)SEM的焦距、倍率、視角來獲取不同的圖像。

三、設備維護與安全

真空度:在加高壓前,真空度要達到額定值,以避免氣體電離度大損傷電子槍。同時,長時間不使用電鏡時,應每周至少保持抽真空兩次,以保持機器內真空度良好。

電源穩(wěn)定:確保電源穩(wěn)定,避免電壓波動過大,以保證設備的正常運行。

樣品臺移動:樣品臺有額定移動距離,包括平面方向和上下方向。在移動樣品臺時,應注意避免超過極限位置,以防止損壞設備。

安全防護:進入工作室應嚴禁大聲喧嘩,避免干擾設備正常運行。同時,應遵守設備操作規(guī)程,確保人身和設備安全。

四、其他注意事項

避免長時間高電流掃描:長時間高電流掃描可能會導致樣品損傷(如熱效應、輻射損傷),影響測量精度。對于敏感樣品,應降低束流強度和縮短曝光時間。

傾斜與旋轉樣品:可以通過傾斜樣品臺(通常在0°到70°之間)和旋轉樣品,從不同角度觀察樣品,以便更好地理解其形貌和進行尺寸測量。

使用高分辨率模式:使用SEM掃描電鏡的高分辨率模式,以確保觀察和測量到納米級的細節(jié)。

多次成像:對于復雜樣品或不規(guī)則結構,建議從不同角度或不同放大倍率下進行多次成像,以確保測量結果的準確性。

綜上所述,掃描電鏡測樣時需要注意樣品準備與處理、設備操作與設置、設備維護與安全以及其他多個方面的事項。只有嚴格遵守這些注意事項,才能確保測試的準確性和設備的正常運行。

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