鎢絲掃描電鏡獲得優(yōu)質(zhì)的掃描圖像和穩(wěn)定EDS，WDS分析光束流，先使鎢絲sem掃描電鏡處于良好的狀態(tài)，如電子光學(xué)系統(tǒng)軸好，儀器穩(wěn)定性好，消除散射等。然后選擇合適的工作條件，如加速度電壓、光束流量、光束直徑、正交孔、工作距離、樣品傾斜角、消除樣品電荷等。此外，圖像質(zhì)量還與樣品的原子數(shù)、次電子的屈服率、樣品的外觀等有關(guān)。以下是影響圖像質(zhì)量和光束流的一些關(guān)鍵因素。

①電子光學(xué)合軸

鎢絲掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡、物鏡和物鏡光圈組成。電子槍可以機(jī)械調(diào)整或自動關(guān)閉。當(dāng)軸閉合時(shí)，圖像的亮度很高。

不同類型的鎢絲sem掃描電鏡有不同數(shù)量的物鏡光圈。為了獲得高分辨率的圖像和穩(wěn)定的束流，需要在更換和清洗物鏡光圈后重新調(diào)整物鏡光圈的位置，使物鏡光圈的位置在物鏡級靴的中心。這個(gè)調(diào)節(jié)過程叫做物鏡光圈關(guān)閉。

光闌合軸是通過一個(gè)光闌的x，y方向發(fā)展移動旋鈕進(jìn)行自我調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)后我們通過分析圖像聚焦，來觀察圖像信息是否有移動，如果高倍圖像在聚焦過程中不發(fā)生圖像以及移動，而且束流很大，說明光闌合軸良好。

②加速電壓

加速電壓是燈絲和陽級之間的電位差，它通過加速從電子源發(fā)射的電子來實(shí)現(xiàn)。

③聚光鏡磁電流

傳入電子束電流，稱為光束流，由聚光燈的激發(fā)電流調(diào)節(jié)，強(qiáng)激發(fā)電流的光束流量較小，電子束直徑小，圖像分辨率高，信號噪聲比降低。由 WDS 和 EDS 分析的較大光束通常由較小的激勵(lì)電流調(diào)節(jié)。鎢絲掃描電鏡電子束直徑的大小調(diào)整實(shí)際上是調(diào)整光束流的大小，因?yàn)楣馐c(diǎn)太小，光束流量也很大。有些鎢絲sem掃描電鏡不能通過調(diào)整聚光燈流的大小來調(diào)節(jié)光束流，只能通過不同的鏡面光孔來調(diào)節(jié)光束流，這種光束流不能連續(xù)調(diào)節(jié)。

④物鏡光闌
物鏡的光圈對景深有明顯的影響。20和100孔徑的景深圖像。右邊是100個(gè)光圈的小景深圖像。箭頭指的是鏡頭的位置。左邊是20孔的大景深圖像。箭頭清晰可見。
⑤工作距離
工作距離是影響圖像分辨率和景深的重要因素。短工作距離可以獲得高分辨率、小景深的圖像。
⑥試樣傾斜角
大試樣傾斜角圖像數(shù)據(jù)信號強(qiáng)、有立體感并可以通過改善導(dǎo)電性差的試樣表面荷電現(xiàn)象。在測量結(jié)果圖像信息特征長度單位或者EDS定量研究分析時(shí)，試樣不要傾斜，如果傾斜了，要及時(shí)進(jìn)行傾斜角度校正。