為提高掃描電鏡圖像的分辨力，常采用的途徑和方式有下列幾種。

①在物鏡的級靴附近加設(shè)一個特殊的附加靜電裝置，用來同時匯集一次電子并提取二次電子，再加上物鏡頂部環(huán)形探測器接收的面積大，靈敏度高，在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。

②采用透鏡內(nèi)探測器或安裝在物鏡上方的探測器，都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時，不僅可以減小物鏡球差和消除傳統(tǒng)E-T探測器前端柵網(wǎng)上加速電位帶來的影響，而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產(chǎn)生的二次電子，排除了背散射電子等其他信號所產(chǎn)生的次生或間接的二次電子，因而有助于提高圖像分辨力。

③利用高亮度的場發(fā)射電子槍來作電子源的陰級以提高束流密度，從而提高亮度。

④縮短工作距離，既可以相對增大信號量、提高信噪比，又可以減小像差，也就是把試樣盡量移近物鏡級靴，這類似于光學(xué)顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的級靴區(qū)是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小，一般只有毫米級的試樣才能進(jìn)得去，而且試樣的移動范圍很小，操作起來要格外小心，否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短，束斑受外界的影響小，像差也小，且能進(jìn)入到該區(qū)域的試樣座也要小，小樣品臺的穩(wěn)定性相對會比較好，所以在該區(qū)域拍攝的照片，其圖像分辨力能得到明顯提高。

⑤使用強磁透鏡，這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件，使試樣發(fā)出的二次電子在強磁場中被檢測、收集成像，即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像，而且這種二次電子像的分辨力往往優(yōu)于同類電子槍的專業(yè)掃描電鏡。