掃描電鏡是一種多功能的工具，在大部分時候，無需什么樣品制備，即可提供各種樣品的納米級信息。而在某些情況下，為了獲得更好的SEM掃描電鏡圖像，掃描電鏡有必要結(jié)合噴金儀(離子濺射儀)使用。

SEM掃描電鏡噴金的意義

掃描電鏡噴金幾乎可以對所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理Q，陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助SEM掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射—個額外的導(dǎo)電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。

哪種樣品需要濺射噴金

1、電子束敏感樣品。這類樣品主要是生物樣品，但也可能是其他種類，例如塑料材料。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是由電子束敏感的材料制成，那么，這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用一種非電子束敏感材料制成的表面鍍層就可以起到保護(hù)層作用，防止此類損傷。

2、非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹牟牧?。對于不?dǎo)電、導(dǎo)電差或者是磁性的樣品，掃描成像是通過detecter獲得二次電子和背散射電子的信號。如果樣品不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓?，會造成樣品表面多余電子或游離粒子的累積不能及時導(dǎo)走，一定程度后會反復(fù)出現(xiàn)充電、放電現(xiàn)象，影響電子信號的傳遞，造成圖像扭曲、變形或晃動等現(xiàn)象。噴金后樣品表面導(dǎo)電性增強(qiáng)，可以避免積電效應(yīng)，樣品表面噴金后，只是在其表面覆蓋了幾個到十幾個金原子層，厚度只有幾個納米到十幾個納米而已，對于看形貌來說，幾乎是沒有影響的。

SEM掃描電鏡濺射噴金的缺點(diǎn)

1、濺射噴金有一個更重要的缺點(diǎn):噴金后表面不再是原始材料，元素的襯度信息會發(fā)生丟失。

2、在某些不好的情況下，它可能會導(dǎo)致表面形貌失真或呈現(xiàn)樣品的虛假成分信息。

雖然濺射噴金存在一定的缺點(diǎn)，但是在大多數(shù)情況下，只要選擇合理的噴金參數(shù)，操作者既能夠獲得高質(zhì)量的成像，又不會損失樣品的原始信息。