掃描電鏡的全稱(chēng)是掃描電子顯微鏡，它可以用來(lái)觀(guān)察被檢測(cè)物體的細(xì)微之處、成像，這一點(diǎn)和顯微鏡有相似之處。sem掃描電鏡是通過(guò)電子束掃描被檢測(cè)物品的表面進(jìn)而產(chǎn)生被檢測(cè)物品表面的圖像。

掃描電鏡有一個(gè)電子發(fā)射槍?zhuān)瑥臉屩袝?huì)發(fā)射出加速、聚焦過(guò)的電子，在用這些電子來(lái)撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會(huì)產(chǎn)生如同水波一般的信號(hào)，另一個(gè)接收器會(huì)用來(lái)接收這些信號(hào)。這些信號(hào)有許多不同的種類(lèi)，不同的信號(hào)有不同的用途，可以對(duì)樣品多個(gè)方面的表現(xiàn)進(jìn)行檢測(cè)。因此，SEM掃描電鏡除了可以成像外，還可以用來(lái)分析樣品的成分形貌，對(duì)樣品的元素進(jìn)行分析。

掃描電鏡的分辨率比顯微鏡的分辨率高得多，能夠?qū)⑽锲贩糯?0萬(wàn)倍。SEM掃描電鏡的視野廣闊，其形成的圖像有很強(qiáng)的立體感，可以觀(guān)察到凹凸不平的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

目前研制出的掃描電鏡種類(lèi)有很多，按照結(jié)構(gòu)和用途進(jìn)行劃分的話(huà)大概有6種，其中包括常見(jiàn)的典型sem掃描電鏡、還有掃描透射電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、冷凍掃描電鏡、掃描隧道電鏡、原子力顯微鏡等。

隨著科技的不斷發(fā)展，掃描電鏡的研制技術(shù)也在不斷進(jìn)步，越來(lái)越多的人了解到掃描電鏡，其已經(jīng)從高等級(jí)的研究發(fā)展變成了被廣泛使用的測(cè)試手段，應(yīng)用范圍涉及到各行各業(yè)，其中包括生命科學(xué)、材料科學(xué)、食品科學(xué)、化學(xué)、電子學(xué)等學(xué)科，還運(yùn)用到了陶瓷行業(yè)、化工行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)等生產(chǎn)部門(mén)。